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FFU风机过滤器单元使用说明书

FFU风机过滤器单元使用说明书

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风机过滤器单元 FFU使用说明书 请详细阅读本说明书,并妥善保存,以备日后维护时参考 。 1-1 风机过滤器单元 风机过滤器单元(FFU )是一种 自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装 置 。 风机从 FFU 顶部将空气吸入并经 HEPA 过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物 …

风机过滤器单元 FFU使用说明书

请详细阅读本说明书,并妥善保存,以备日后维护时参考 。
1-1 风机过滤器单元
风机过滤器单元(FFU )是一种 自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装 置 。
风机从 FFU 顶部将空气吸入并经 HEPA 过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业 。
● 使用环境
•周围温度:5℃~40℃
•湿度:低于 85%RH(没有湿气凝结状态下)
•周围空气:一般室内空气
•清净度:100-10 级
•请避免连续反复 ON/OFF 操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第 4 页的〝重要安全事项〞。

FFU安装示意图介绍了FFU与天花照明安装时的布置。
2 1-2 结构及特点

FFU结构及特点图
(1) 主要部件
FFU主要部件包括初效滤网,外壳,风机系统,高效滤网等。
1 2-1 安装使用环境
● 风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
● 设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。
● 请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
● 请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2 2-2 运送与安装
● 请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。
● 机体安装后,机体上方至少须预留 30 公分以上的空间,以利将来机体维修,未预留足够的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。
● 试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
3 2-3 安装 • 使用注意事项
● 风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示
● 当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
● 切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。
● 请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。
● 请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。
● 实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。
. 2. 重要安全事项
3-1 1 1 1 运转前检查事项
运转前请先检查下列注意事项:
● 机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。
● 机体接地工事是否已实施。
● 机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。
3-2 2 2 2 运转时注意事项
(1) 开始运转
● 当电源开启后,机体即开始运转。
● 机体运转后请确认是否有异常现象。
当有下列情形发生,机体无法正常运转时,请向经销服务人员反映。
● 机体内部有异物,机体离心风扇无法正常旋转。
● 机体内部电线脱落,接头松脱。
● 机体内部电气部件,如过电源插头、马达损坏。
(2) 停止运转
● 运转后如发现异常现象,请即切断电源,停止机体运转。

4. 维修 • 点检
● 自购买日起进行定期检查,请勿自行检查,以免造成触电或火灾等事故发生。
● 除了维修人员外,请勿自行拆解、修理或变更规格,以免造成触电或火灾的发生。
● 当更换滤网等部件时,请注意不要损坏滤纸。
● 维修•点检时,请务必先切断电源,停止机器运转后再实施,以免发生触电或伤害危险。
● 当安装•维修•点检完成后,在机体起动前,请确定机体基础稳固。
4-1 日常维护
每天工作开始之前请依表 2.点检下列各项,当发现有不正常的情形,立即切断电源并采取改正措施。

FFU日常维护包括马达, 滤网,机体外观有没有损坏。
4-2 定期维护
使用风机过滤器单元一段时间后,因使用环境及使用状况之差异,为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转,请务必实施下列定期点检。
4-2.1 定期维护
(1)定期维护项目请依表 3.所示,对风机过滤器单元实施定期点检,当部件寿命已至时,请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命,会因使用环境及使用状况而有所差异)。
(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄 漏 (腐蚀气体…..等) 意外发生,
停机再启动后,请务必实施相同的检查。

3. 定期维护项目

FFU定期维护项目包括马达,风机,电气部件等。QQ图片20151203120008表 4 消耗性部件的更换期间 ( 我司建议 )

FFU滤网更换周期表

4.2.2 点检完成
点检完成后,清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况;保留点检报 告 ,当部件更换或机体更新时作为参考。
3 4-3 故障排除
•若有以下现象发生,连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象(尽可能详细) ,然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。

FFU故障排除主要有马达不运转,或马达扇页与外壳刮擦。

● 非服务技术人员请勿拆解、修理或修改风机过滤器单元,以避免造成严重的意外,例如触电或火灾。

QQ图片20151203120126

● 当需要更换服务备品时,请务必依本说明书中表 1.所列之部件名称提供予服务人员。
● 任何未经认可之代用品,不仅可能会影响风机过滤器单元的性能,同时可能造成火灾、触电或其它危险。FFU结构图

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