风机过滤单元
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为了使洁净室内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数,最常用的方法是向室内不断送入一定量经过处理的空气,以消除洁净室内外各种热湿干扰及尘埃污染。为获得送入洁净室具有一定状态的空气,就需要一整套设备对空气进行处理,并不断送入室内,又不断从室内排出一 部分来,这一整套设备就构成了洁净空调系统。
室外新风W经新风机组净化、降温、减湿、再热处理后送入顶棚。为使洁净室的温湿度控制得更平稳,通常将处理后的新风调整到洁净室的要求状态N,由DDC(Direct Digital Control) 实现净化新风的精确控制。由于新风机组采用了喷淋洁净水的喷淋段和再热段,所以L点应是新风机器露点,位于N点的垂直下方。经过安装在回风道上的FFU处理后的H状态回风在顶棚内与经过新风机组处理的新风混合,形成O状态的送风,再由FFU加压过滤送入洁净室内。送入室内的洁净空气吸收显热后变为室内状态N,一部分由工艺设备的排风装置排到室外,另一部分再经FFU处理后回用。