洁净室用的FFU风机过滤单元高效过滤器的DOP检漏怎么操作

洁净室用的FFU风机过滤单元高效过滤器的DOP检漏怎么操作

在FFU风机过滤单元高效过滤器上风侧发DOP检漏时，在FFU高效过滤器的上风侧必须设有DOP的导入装置及浓度检测管。FFU这两个管子也可以用来检测过滤器的阻力。

在FFU检测中，如果室内干扰因素太多，为排除干扰，可在风口出口加隔离罩，在罩内进行检测，这样检测的数据较为准确。

尤其要注意的是，在过滤器和安装框架之间的检漏，可以沿安装框架检漏，也可以送风口箱体断面上检漏，但要排除卷吸气流的干扰，要避免箱体上的积灰干扰，尤其是采样口不能接触高效风口箱体或过滤器的框架。

在有速度的气流中采样，采样速度应等于气流速度，否则采样浓度将大于或小于真实浓度，即气流速度大于采样速度，采样浓度将大于真实浓度，反之，气流速度小于采样速度，采样浓度将小于真实浓度。

假定FFU高效过滤器下实际断面风速为0.45m/s，圆形取样口直径Ds的计算：

V×1/4×πDs =Fa 2
Fa ——仪器采样量,28.3L/min=472cm3/s

V ——FFU过滤器面风速 0.45 m/s
经计算 Ds=36. 5 mm

实际上仪器的取样口直径为35mm或正方形30×30mm，当然取样口也可以是长方形的，经计算此时的采样速度为0.49～0.52m/s，可以认为是等速采样。

根据国际标准组织(ISO)关于洁净室及相关受控环境的测试和测试方法(ISO14644-3)中公式计算：Sr≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中：Sr-探管扫描速率cm/s;

Cc-被测过滤器上风向气溶胶浓度cm-3(50粒子/cm3);

Ps -被测过滤器最易穿透粒径最大允许整体穿透率;

PL -被测过滤器的最大允许泄漏;

K -一个因数，表示PL可能比Ps大多少倍;

Dp -平行于扫描方向的探管尺寸 (cm)，本文使用圆形采样管，直径35mm;
Fs – 离散粒子计数器的标准样品流量，

Fs=472cm3/s(28.3L/min);

Np -预期量，表现出泄漏特征的粒子计数值;

用下式计算：
Np=Cc×Ps×K×Fs
Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 个，代入 Sr式得Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)

每个测点实际获得时间 Ts=Dp/Sr=1 s

所以，采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、K值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。特别需要指出的是，如采用28.3L/min 的粒子计数器和2.83L/min的粒子计数器，他们的扫描速率可以相差十倍，也就是讲，每检测一个过滤器的时间也相差十倍。

规范要求扫描速率为5～20mm/s(其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的，一般建议采用28.3L/min的粒子计算器，扫描速率在30～ 5mm/s左右)。

规范第5.4.1条指出“对于高效过滤器，应不大于过滤器出厂合格透过率的2倍，对于超高效过滤器，应不大于出厂合格透过率的3倍。”而根据条文说明的第四节评定标准则相反，高效过滤器的透过率是3倍，而超高效过滤器的是2倍。从提供的数据来看，应该是以条文为准。

如果上游浓度为3.5×104 粒子 /L,0.5μm的高效过滤器效率是99.99%，下游浓度为3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子计算器检测≤ 10应为合格，否则应进行修复，修补总面积不能超过过滤器截面的 5%，每个修补点修补的最大长度必须在 40mm以下。

本文用14644-3的检漏方法及有关计算。如上述，Np 是表泄漏特征的粒子数，在Np=11.8 时，可接受观测计数Ca=7个。在检漏中，尘埃粒子读数C ≤ Ca时，认为扫描区域无泄露，可继续扫描，否则，要做静态测定。静态测定时，采样头在测点的滞留时间设定为10秒钟，此时测得的最大粒子数为Npa：Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118

这是采样流量为472cm3/s，采样时间为10s时的读数值，大于此数可判断为泄漏。

如果系统总风量不大，DOP发尘可直接送入总风管。如果DOP发尘的总量不够，达不到预计的浓度要求，可将DOP直接发入高效送风口的静压箱。需要指出的是，上游的气溶胶浓度需要检测。如果稳定后，可对每个过滤器进行泄漏检测。如果上游的气溶胶浓度太高，粒子 计数器无法检测，可通过稀释的方法来进行测量。